薄膜蚀刻剂组合物及使用其形成金属图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910427437.6

申请日：

2019-05-22

公开(公告)号：

CN110552006A

公开(公告)日：

2019-12-10

发明(设计)人：

金镇亨郑周焕金真淑金学喆李秉洙金昌树郑正植金童基金相泰南基龙朴英哲沈庆辅林大成张晌勋

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23F102

IPC分类号：

C23F130 H01L2732

代理机构：

北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641

代理人：

杜正国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/02 申请日:20190522
2019-12-10	公开	公开

共 50 条

[1]

蚀刻金属层的组合物以及使用其形成金属图案的方法 [P].

金钟一 ;

李坰默 ;

宋桂燦 ;

曹三永 ;

申贤哲 ;

金南绪 ;

李骐范 .

中国专利 :CN1966772A ,2007-05-23

[2]

蚀刻剂组合物和使用蚀刻剂组合物的金属图案的制造方法 [P].

朴种熙 ;

金基泰 ;

金真锡 ;

金奎布 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李相赫 .

中国专利 :CN110387545B ,2019-10-29

[3]

银薄膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

权五柄 ;

南基龙 ;

闵庚灿 ;

李昔准 .

中国专利 :CN113637972A ,2021-11-12

[4]

银薄膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李昔准 ;

李原昊 ;

权五柄 .

中国专利 :CN113652693A ,2021-11-16

[5]

银薄膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

权五柄 ;

南基龙 ;

闵庚灿 ;

李昔准 .

韩国专利 :CN113637972B ,2024-03-26

[6]

蚀刻剂组合物及使用其制造金属图案和薄膜晶体管衬底的方法 [P].

梁熙星 ;

朴弘植 ;

郑锺鉉 ;

金相佑 ;

李大雨 .

中国专利 :CN109423648B ,2019-03-05

[7]

银薄膜蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法以及金属图案形成方法 [P].

金镇成 ;

金炼卓 ;

朴镛云 .

中国专利 :CN110241423A ,2019-09-17

[8]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

金炼卓 ;

金镇成 ;

南基龙 ;

刘仁浩 .

中国专利 :CN111172541B ,2020-05-19

[9]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

金童基 ;

金炼卓 ;

南基龙 ;

张晌勋 ;

李原昊 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN111748816B ,2020-10-09

[10]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

李恩远 ;

赵现洙 .

中国专利 :CN111155092A ,2020-05-15

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