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蚀刻剂组合物和使用蚀刻剂组合物的金属图案的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910328331.0
申请日：
2019-04-23
公开(公告)号：
CN110387545B
公开(公告)日：
2019-10-29
发明(设计)人：
朴种熙 金基泰 金真锡 金奎布 申贤哲 李大雨 李相赫
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道龙仁市
IPC主分类号：
C23F102
IPC分类号：
C23F130
代理机构：
北京钲霖知识产权代理有限公司 11722
代理人：
李强;李静波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-05-07 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/02 申请日:20190423
2019-10-29 公开 公开
2022-12-13 授权 授权
共 50 条
[1]
蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法 [P]. 
朴种熙 ;
金真锡 ;
李凤源 ;
金基泰 ;
金奎佈 ;
申贤哲 ;
李大雨 ;
李秉雄 ;
李相赫 .
中国专利 :CN109811344B ,2019-05-28
[2]
蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示设备的方法 [P]. 
朴种熙 ;
金眞锡 ;
权五柄 ;
南基龙 ;
尹暎晋 ;
李昔准 ;
李原昊 .
中国专利 :CN113981448A ,2022-01-28
[3]
蚀刻剂组合物以及使用蚀刻剂组合物制造金属图案和阵列衬底的方法 [P]. 
金俸均 ;
金镇奭 ;
沈承辅 ;
崔新革 ;
金承熙 ;
李栋熙 ;
金奎佈 ;
申贤哲 ;
李大雨 ;
李秉雄 ;
李相赫 .
中国专利 :CN111270236A ,2020-06-12
[4]
蚀刻剂组合物 [P]. 
刘仁浩 ;
鞠仁说 ;
南基龙 ;
朴英哲 ;
尹暎晋 ;
李昔准 .
中国专利 :CN104250814A ,2014-12-31
[5]
蚀刻剂组合物和使用其制造金属图案和阵列基板的方法 [P]. 
金俸均 ;
金镇爽 ;
沈承辅 ;
崔新革 ;
沈枟亨 ;
李栋熙 ;
金奎佈 ;
申贤哲 ;
李大雨 ;
李相赫 .
中国专利 :CN110284139B ,2019-09-27
[6]
用于蚀刻铜基金属层的蚀刻剂组合物和使用它的蚀刻方法 [P]. 
鞠仁说 ;
金宝衡 ;
李钟文 .
中国专利 :CN105970224A ,2016-09-28
[7]
蚀刻组合物、形成图案的方法和制造显示装置的方法 [P]. 
朴种熙 ;
金基泰 ;
金真锡 ;
金奎佈 ;
申贤哲 ;
李大雨 ;
李相赫 .
中国专利 :CN111234824B ,2020-06-05
[8]
硅蚀刻剂组合物和使用该组合物形成图案的方法 [P]. 
鲁珍圭 ;
安奎相 ;
尹嚆重 .
韩国专利 :CN118530724A ,2024-08-23
[9]
蚀刻剂组合物及使用其制造金属接线的方法 [P]. 
郑钟铉 ;
朴弘植 ;
文英慜 ;
梁熙星 ;
金奎佈 ;
申贤哲 ;
徐源国 ;
金在明 .
中国专利 :CN105734570A ,2016-07-06
[10]
蚀刻组合物、形成图案的方法和制造显示装置的方法 [P]. 
朴种熙 ;
金基泰 ;
金真锡 ;
金奎佈 ;
申贤哲 ;
李大雨 ;
李相赫 ;
郑鸿 .
中国专利 :CN111187625B ,2020-05-22
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