蚀刻剂组合物及使用其制造金属接线的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510994298.7

申请日：

2015-12-25

公开(公告)号：

CN105734570A

公开(公告)日：

2016-07-06

发明(设计)人：

郑钟铉朴弘植文英慜梁熙星金奎佈申贤哲徐源国金在明

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

张燕;王珍仙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-26	授权	授权
2016-07-06	公开	公开
2018-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20151225

共 50 条

[1]

蚀刻剂组合物以及使用蚀刻剂组合物制造金属图案和阵列衬底的方法 [P].

金俸均 ;

金镇奭 ;

沈承辅 ;

崔新革 ;

金承熙 ;

李栋熙 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李秉雄 ;

李相赫 .

中国专利 :CN111270236A ,2020-06-12

[2]

蚀刻剂组合物和使用蚀刻剂组合物的金属图案的制造方法 [P].

朴种熙 ;

金基泰 ;

金真锡 ;

金奎布 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李相赫 .

中国专利 :CN110387545B ,2019-10-29

[3]

蚀刻剂组合物和使用其制造金属图案和阵列基板的方法 [P].

金俸均 ;

金镇爽 ;

沈承辅 ;

崔新革 ;

沈枟亨 ;

李栋熙 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李相赫 .

中国专利 :CN110284139B ,2019-09-27

[4]

蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示设备的方法 [P].

朴种熙 ;

金眞锡 ;

权五柄 ;

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李昔准 ;

李原昊 .

中国专利 :CN113981448A ,2022-01-28

[5]

用于蚀刻铜基金属层的蚀刻剂组合物和使用它的蚀刻方法 [P].

鞠仁说 ;

金宝衡 ;

李钟文 .

中国专利 :CN105970224A ,2016-09-28

[6]

蚀刻剂组合物、以及使用其制造金属图案和薄膜晶体管基板的方法 [P].

郑钟铉 ;

朴弘植 ;

梁熙星 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李秉雄 ;

李相赫 ;

李大雨 .

中国专利 :CN109097774B ,2018-12-28

[7]

蚀刻剂组合物和使用其制造布线基板的方法 [P].

金俸均 ;

金镇爽 ;

沈承辅 ;

崔新革 ;

金承熙 ;

李栋熙 ;

鞠仁说 ;

金范洙 ;

金相泰 ;

朴英哲 ;

尹暎晋 ;

林大成 .

中国专利 :CN110747473B ,2020-02-04

[8]

蚀刻剂组合物及使用其制造薄膜晶体管基板的方法 [P].

安守民 ;

金荣俊 ;

朴弘植 ;

鞠仁说 ;

朴英哲 ;

刘仁浩 ;

李承洙 ;

李钟文 ;

林大成 .

中国专利 :CN106400016A ,2017-02-15

[9]

蚀刻剂组合物、形成金属线图案方法和制造阵列基板方法 [P].

刘仁浩 ;

鞠仁说 ;

南基龙 ;

尹暎晋 .

中国专利 :CN106148961A ,2016-11-23

[10]

蚀刻剂组合物及使用其形成金属布线和薄膜晶体管基底的方法 [P].

金仁培 ;

郑锺铉 ;

文英慜 ;

朴弘植 ;

金奎佈 ;

徐源国 ;

申贤哲 ;

李骐范 ;

曹三永 ;

韩胜然 .

中国专利 :CN105579618A ,2016-05-11

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