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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-12 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-31 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/30 登记生效日:20230117 变更事项:专利权人 变更前权利人:矽万(上海)半导体科技有限公司 变更后权利人:江苏雷博科学仪器有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:200131 上海市浦东新区自由贸易试验区富特东一路396号1幢5层512室 变更后权利人:214437 江苏省无锡市江阴市金山路201号创智产业园数码港A座5楼南 |