一种匀胶显影机台及匀胶显影方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511605680.4

申请日：

2025-11-05

公开(公告)号：

CN121165398A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

陈会敏邱杰振田锋

申请人：

物元半导体技术（青岛）有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市城阳区岙东北路786号1号楼

IPC主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/30

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

匀胶显影机台 [P].

王冬 ;

符平平 .

中国专利 :CN304758192S ,2018-08-03

[2]

匀温控制装置及匀胶显影机台 [P].

吴秋果 ;

张祥平 .

中国专利 :CN221650797U ,2024-09-03

[3]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 ;

胡宁波 .

中国专利 :CN306236989S ,2020-12-18

[4]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 .

中国专利 :CN308765957S ,2024-08-02

[5]

匀胶显影机 [P].

傅立超 .

中国专利 :CN305017975S ,2019-01-29

[6]

一种匀胶显影机的显影方法 [P].

丁桃宝 .

中国专利 :CN111965957A ,2020-11-20

[7]

一种匀胶显影机 [P].

蔡明堂 ;

黄宽信 .

中国专利 :CN214474411U ,2021-10-22

[8]

一种桌面型匀胶显影机 [P].

董坤 ;

薛兆丰 .

中国专利 :CN216286155U ,2022-04-12

[9]

一种涂布装置及匀胶显影机 [P].

黄宽信 ;

叶光尧 ;

江奇纮 .

中国专利 :CN214474410U ,2021-10-22

[10]

用于匀胶显影机的供液系统及匀胶显影系统 [P].

余坚 ;

纪开勋 ;

徐阳 ;

杨婧 ;

姜洪晓 ;

周璐璐 .

中国专利 :CN220584544U ,2024-03-12

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