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环保型高效碱性蚀刻液
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811264427.7
申请日：
2018-10-29
公开(公告)号：
CN109136929A
公开(公告)日：
2019-01-04
发明(设计)人：
戴泽民
杨国雄
苑伟东
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市罗湖区清水河街道金湖路36号银湖科研大楼三楼（A）
IPC主分类号：
C23F134
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/34 申请公布日:20190104 |
| 2019-08-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/34 申请日:20181029 |
| 2019-01-04 | 公开 | 公开 |