一种高蚀刻因子的碱性蚀刻液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510820797.8

申请日：

2025-06-19

公开(公告)号：

CN120758884A

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

罗坤赵玉兰韩流黄志齐

申请人：

昆山市板明电子科技有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路195号

IPC主分类号：

C23F1/34

IPC分类号：

C23F1/02 H05K3/06

代理机构：

江苏久宣知识产权代理事务所(普通合伙) 32739

代理人：

彭玉

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-10	公开	公开
2025-10-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/34申请日:20250619

共 50 条

[1]

一种碱性蚀刻液 [P].

林春涛 .

中国专利 :CN101760200A ,2010-06-30

[2]

一种碱性蚀刻液及其制备方法 [P].

蒙昌才 ;

黄远敏 ;

余欣荣 ;

谭奇亮 ;

詹校东 ;

李小丹 .

中国专利 :CN107740105A ,2018-02-27

[3]

一种用于湿法蚀刻相变材料的碱性蚀刻液及其应用 [P].

童浩 ;

彭忻怡 ;

缪向水 .

中国专利 :CN114854419A ,2022-08-05

[4]

一种高蚀刻因子的铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

侯军 ;

武文东 ;

孙昊然 ;

张亚男 ;

赵晓莹 ;

田继升 ;

王凯旋 .

中国专利 :CN120888934A ,2025-11-04

[5]

一种碱性蚀刻液及其制备方法 [P].

武斌 ;

马康 ;

刘文斌 ;

田雯娟 ;

董晓慧 ;

陈明宽 ;

孙维旺 .

中国专利 :CN120119254B ,2025-08-22

[6]

一种碱性蚀刻液及其制备方法 [P].

武斌 ;

马康 ;

刘文斌 ;

田雯娟 ;

董晓慧 ;

陈明宽 ;

孙维旺 .

中国专利 :CN120119254A ,2025-06-10

[7]

碱性蚀刻液及其生产方法 [P].

胡先萍 .

中国专利 :CN100540745C ,2007-11-28

[8]

碱性蚀刻液组合物及应用其的蚀刻方法 [P].

陈雨农 ;

吴光耀 ;

汤慧怡 .

中国专利 :CN107227462B ,2017-10-03

[9]

一种碱性蚀刻液的制备方法 [P].

林伟娜 ;

陈仲丛 ;

赖建辉 ;

许良福 ;

周悦芝 ;

余梓涵 .

中国专利 :CN114276813A ,2022-04-05

[10]

环保型高效碱性蚀刻液 [P].

戴泽民 ;

杨国雄 ;

苑伟东 .

中国专利 :CN109136929A ,2019-01-04

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