基板处理装置和基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680037904.5

申请日：

2006-10-06

公开(公告)号：

CN101288157B

公开(公告)日：

2008-10-15

发明(设计)人：

松浦广行中尾贤

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

C23C16455 H01L2131

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-15	公开	公开
2008-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

浅川雄二 ;

绿川洋平 ;

户田聪 ;

高桥宏幸 .

中国专利 :CN108878328B ,2018-11-23

[2]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

加藤寿 .

日本专利 :CN117650077A ,2024-03-05

[3]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

高桥和也 ;

坂下训康 ;

远藤笃史 ;

小岛淳也 .

日本专利 :CN119585857A ,2025-03-07

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

宫胜彦 .

中国专利 :CN1727081B ,2006-02-01

[5]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

藤永元毅 .

中国专利 :CN104241087B ,2014-12-24

[6]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

三浦嘉隆 .

中国专利 :CN112309829A ,2021-02-02

[7]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

三浦嘉隆 .

日本专利 :CN112309829B ,2024-04-09

[8]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN109536919A ,2019-03-29

[9]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

羽根秀臣 ;

梅原隆人 .

中国专利 :CN104805415B ,2015-07-29

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

小滨直道 .

中国专利 :CN115692151A ,2023-02-03

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