研磨剂及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280043222.0

申请日：

2012-08-23

公开(公告)号：

CN103782370A

公开(公告)日：

2014-05-07

发明(设计)人：

吉田伊织竹宫聪朝长浩之

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

B24B3700

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

刘多益

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582691757 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2012800432220 申请日:20120823
2016-08-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737839175 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2012800432220 申请公布日:20140507
2014-05-07	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨剂及研磨方法 [P].

吉田伊织 ;

竹宫聪 ;

朝长浩之 .

中国专利 :CN103503118A ,2014-01-08

[2]

研磨剂及研磨方法 [P].

花野真之 ;

川北纯平 ;

芳贺浩二 .

日本专利 :CN119032149A ,2024-11-26

[3]

研磨剂及研磨方法 [P].

吉田有衣 ;

吉田伊织 ;

竹宫聪 .

中国专利 :CN103459089A ,2013-12-18

[4]

研磨剂以及研磨方法 [P].

竹宫聪 ;

真丸幸惠 .

中国专利 :CN100468647C ,2007-03-14

[5]

研磨剂、研磨剂的制造方法以及研磨方法 [P].

竹宫聪 ;

中泽伯人 ;

金喜则 .

中国专利 :CN1306562C ,2005-01-26

[6]

研磨剂及研磨方法 [P].

小山直之 ;

町井洋一 ;

吉田诚人 ;

深泽正人 ;

芦泽寅之助 .

中国专利 :CN100373556C ,2006-06-28

[7]

研磨剂、研磨剂组件及使用该研磨剂的基板研磨方法 [P].

星阳介 ;

龙崎大介 ;

小山直之 ;

野部茂 .

中国专利 :CN107199502A ,2017-09-26

[8]

研磨剂、研磨剂组件及使用该研磨剂的基板研磨方法 [P].

星阳介 ;

龙崎大介 ;

小山直之 ;

野部茂 .

中国专利 :CN105368397A ,2016-03-02

[9]

研磨剂、研磨剂套剂及基体的研磨方法 [P].

阿久津利明 ;

南久贵 ;

岩野友洋 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104582899A ,2015-04-29

[10]

研磨剂和研磨方法 [P].

吉田有衣子 .

中国专利 :CN102985508A ,2013-03-20

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