研磨剂及研磨方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201280017990.9
申请日
2012-04-06
公开(公告)号
CN103459089A
公开(公告)日
2013-12-18
发明(设计)人
吉田有衣 吉田伊织 竹宫聪
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B24B3700
IPC分类号
B24B3720 C09K314 H01L21304
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人
王海川;穆德骏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨剂和研磨方法 [P]. 
吉田有衣子 .
中国专利 :CN102985508A ,2013-03-20
[2]
研磨剂及研磨方法 [P]. 
花野真之 ;
川北纯平 ;
芳贺浩二 .
日本专利 :CN119032149A ,2024-11-26
[3]
研磨剂及研磨方法 [P]. 
吉田伊织 ;
竹宫聪 ;
朝长浩之 .
中国专利 :CN103782370A ,2014-05-07
[4]
研磨剂及使用该研磨剂的基板研磨方法 [P]. 
星阳介 ;
龙崎大介 ;
小山直之 ;
野部茂 .
中国专利 :CN103396765A ,2013-11-20
[5]
研磨剂及研磨方法 [P]. 
小山直之 ;
町井洋一 ;
吉田诚人 ;
深泽正人 ;
芦泽寅之助 .
中国专利 :CN100373556C ,2006-06-28
[6]
研磨剂、研磨剂用添加液和研磨方法 [P]. 
中岛秀喜 ;
加藤知夫 ;
赤时正敏 ;
冈村有造 ;
岩本纮明 .
日本专利 :CN119768483A ,2025-04-04
[7]
研磨剂及研磨方法 [P]. 
吉田伊织 ;
竹宫聪 ;
朝长浩之 .
中国专利 :CN103503118A ,2014-01-08
[8]
研磨剂、研磨剂组件及使用该研磨剂的基板研磨方法 [P]. 
星阳介 ;
龙崎大介 ;
小山直之 ;
野部茂 .
中国专利 :CN107199502A ,2017-09-26
[9]
研磨剂、研磨剂组件及使用该研磨剂的基板研磨方法 [P]. 
星阳介 ;
龙崎大介 ;
小山直之 ;
野部茂 .
中国专利 :CN105368397A ,2016-03-02
[10]
研磨剂以及研磨方法 [P]. 
竹宫聪 ;
真丸幸惠 .
中国专利 :CN100468647C ,2007-03-14