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研磨头系统及研磨装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110042947.9
申请日
:
2021-01-13
公开(公告)号
:
CN113134785A
公开(公告)日
:
2021-07-20
发明(设计)人
:
小畠严贵
安田穗积
矢内昭夫
高桥信行
中村贵正
坂田桂介
高田畅行
八木裕治
高田泰弘
渡边和英
申请人
:
申请人地址
:
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号
:
B24B3711
IPC分类号
:
B24B3727
B24B3734
B24B4712
B24B4720
B24B4722
B24B4912
代理机构
:
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人
:
张丽颖
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-07-20
公开
公开
共 50 条
[1]
研磨头系统及研磨装置
[P].
小畠严贵
论文数:
0
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
小畠严贵
;
安田穗积
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
安田穗积
;
矢内昭夫
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
矢内昭夫
;
高桥信行
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
高桥信行
;
中村贵正
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
中村贵正
;
坂田桂介
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
坂田桂介
;
高田畅行
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
高田畅行
;
八木裕治
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
八木裕治
;
高田泰弘
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
高田泰弘
;
渡边和英
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
渡边和英
.
日本专利
:CN113134785B
,2024-05-14
[2]
研磨头系统、研磨装置及处理系统
[P].
渡边和英
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0
渡边和英
;
小畠严贵
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小畠严贵
.
中国专利
:CN113442054A
,2021-09-28
[3]
研磨头及研磨装置
[P].
柏木诚
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柏木诚
.
中国专利
:CN115066315A
,2022-09-16
[4]
研磨头及研磨装置
[P].
桥本浩昌
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桥本浩昌
;
森田幸治
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森田幸治
;
荒谷崇
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荒谷崇
;
岸田敬实
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岸田敬实
;
荒川悟
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荒川悟
.
中国专利
:CN102712073B
,2012-10-03
[5]
研磨头及研磨装置
[P].
柏木诚
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
柏木诚
;
藤泽真於
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
藤泽真於
.
日本专利
:CN118660785A
,2024-09-17
[6]
研磨头及研磨装置
[P].
林智雄
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林智雄
.
中国专利
:CN211589699U
,2020-09-29
[7]
研磨头及研磨装置
[P].
唐强
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唐强
;
马智勇
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马智勇
;
肖德元
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肖德元
;
徐依协
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徐依协
.
中国专利
:CN203887683U
,2014-10-22
[8]
研磨头及研磨装置
[P].
林智雄
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林智雄
.
中国专利
:CN111434458A
,2020-07-21
[9]
研磨头及研磨装置
[P].
桝村寿
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桝村寿
.
中国专利
:CN103619538A
,2014-03-05
[10]
研磨头及研磨装置
[P].
桝村寿
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桝村寿
;
北川幸司
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北川幸司
;
森田幸治
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森田幸治
;
岸田敬实
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岸田敬实
;
荒川悟
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荒川悟
.
中国专利
:CN101827685A
,2010-09-08
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