研磨头系统及研磨装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110042947.9
申请日
2021-01-13
公开(公告)号
CN113134785A
公开(公告)日
2021-07-20
发明(设计)人
小畠严贵 安田穗积 矢内昭夫 高桥信行 中村贵正 坂田桂介 高田畅行 八木裕治 高田泰弘 渡边和英
申请人
申请人地址
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号
B24B3711
IPC分类号
B24B3727 B24B3734 B24B4712 B24B4720 B24B4722 B24B4912
代理机构
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人
张丽颖
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨头系统及研磨装置 [P]. 
小畠严贵 ;
安田穗积 ;
矢内昭夫 ;
高桥信行 ;
中村贵正 ;
坂田桂介 ;
高田畅行 ;
八木裕治 ;
高田泰弘 ;
渡边和英 .
日本专利 :CN113134785B ,2024-05-14
[2]
研磨头系统、研磨装置及处理系统 [P]. 
渡边和英 ;
小畠严贵 .
中国专利 :CN113442054A ,2021-09-28
[3]
研磨头及研磨装置 [P]. 
柏木诚 .
中国专利 :CN115066315A ,2022-09-16
[4]
研磨头及研磨装置 [P]. 
桥本浩昌 ;
森田幸治 ;
荒谷崇 ;
岸田敬实 ;
荒川悟 .
中国专利 :CN102712073B ,2012-10-03
[5]
研磨头及研磨装置 [P]. 
柏木诚 ;
藤泽真於 .
日本专利 :CN118660785A ,2024-09-17
[6]
研磨头及研磨装置 [P]. 
林智雄 .
中国专利 :CN211589699U ,2020-09-29
[7]
研磨头及研磨装置 [P]. 
唐强 ;
马智勇 ;
肖德元 ;
徐依协 .
中国专利 :CN203887683U ,2014-10-22
[8]
研磨头及研磨装置 [P]. 
林智雄 .
中国专利 :CN111434458A ,2020-07-21
[9]
研磨头及研磨装置 [P]. 
桝村寿 .
中国专利 :CN103619538A ,2014-03-05
[10]
研磨头及研磨装置 [P]. 
桝村寿 ;
北川幸司 ;
森田幸治 ;
岸田敬实 ;
荒川悟 .
中国专利 :CN101827685A ,2010-09-08