研磨头系统及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110042947.9

申请日：

2021-01-13

公开(公告)号：

CN113134785B

公开(公告)日：

2024-05-14

发明(设计)人：

小畠严贵安田穗积矢内昭夫高桥信行中村贵正坂田桂介高田畅行八木裕治高田泰弘渡边和英

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37/11

IPC分类号：

B24B37/27 B24B37/34 B24B47/12 B24B47/20 B24B47/22 B24B49/12

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨头系统及研磨装置 [P].

小畠严贵 ;

安田穗积 ;

矢内昭夫 ;

高桥信行 ;

中村贵正 ;

坂田桂介 ;

高田畅行 ;

八木裕治 ;

高田泰弘 ;

渡边和英 .

中国专利 :CN113134785A ,2021-07-20

[2]

研磨头系统、研磨装置及处理系统 [P].

渡边和英 ;

小畠严贵 .

中国专利 :CN113442054A ,2021-09-28

[3]

研磨头及研磨装置 [P].

柏木诚 .

中国专利 :CN115066315A ,2022-09-16

[4]

研磨头及研磨装置 [P].

桥本浩昌 ;

森田幸治 ;

荒谷崇 ;

岸田敬实 ;

荒川悟 .

中国专利 :CN102712073B ,2012-10-03

[5]

研磨头及研磨装置 [P].

柏木诚 ;

藤泽真於 .

日本专利 :CN118660785A ,2024-09-17

[6]

研磨头及研磨装置 [P].

林智雄 .

中国专利 :CN211589699U ,2020-09-29

[7]

研磨头及研磨装置 [P].

唐强 ;

马智勇 ;

肖德元 ;

徐依协 .

中国专利 :CN203887683U ,2014-10-22

[8]

研磨头及研磨装置 [P].

林智雄 .

中国专利 :CN111434458A ,2020-07-21

[9]

研磨头及研磨装置 [P].

桝村寿 .

中国专利 :CN103619538A ,2014-03-05

[10]

研磨头及研磨装置 [P].

桝村寿 ;

北川幸司 ;

森田幸治 ;

岸田敬实 ;

荒川悟 .

中国专利 :CN101827685A ,2010-09-08

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