用于退火多种处理物的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00817381.8

申请日：

2000-10-20

公开(公告)号：

CN1411613A

公开(公告)日：

2003-04-16

发明(设计)人：

V·普罗布斯特

申请人：

申请人地址：

德国慕尼黑

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21324 H01L21477 C21D900

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

程天正;张志醒

法律状态：

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-10-20	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更事项:申请人变更前权利人:西门子公司变更后权利人:壳牌阳光有限公司变更事项:地址变更前权利人:德国慕尼黑变更后权利人:德国慕尼黑登记生效日:20040917
2003-04-16	公开	公开
2008-03-19	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人变更前权利人:壳牌阳光有限公司变更后权利人:壳牌再生能源有限责任公司变更事项:地址变更前:德国慕尼黑变更后:德国汉堡登记生效日:20080215
2003-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-04-04	授权	授权
2020-11-06	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20001020 授权公告日:20070404

共 50 条

[1]

退火处理装置以及退火处理方法 [P].

山口昇 ;

西桥勉 ;

铃木英夫 ;

酒田现示 ;

田中美和 .

中国专利 :CN107452832A ,2017-12-08

[2]

恒温处理至少一种处理物体的装置和方法 [P].

V·普罗布斯特 .

中国专利 :CN1187842C ,2003-04-23

[3]

用于处理基板的装置和方法 [P].

姜廷锡 ;

梁映轘 ;

卢收练 .

中国专利 :CN112447485A ,2021-03-05

[4]

用于处理多种语言的通信系统、设备、装置和方法 [P].

村松俊彦 .

中国专利 :CN100512354C ,2005-10-19

[5]

用于在处理腔中对物体进行退火的装置和方法 [P].

J·帕尔姆 ;

J·鲍姆巴赫 ;

F·卡格 ;

M·菲尔范格 .

中国专利 :CN102165607A ,2011-08-24

[6]

用于在电镀设备中电接触处理物的装置和方法 [P].

E.许贝尔 .

中国专利 :CN102713019A ,2012-10-03

[7]

用于混合多种物质的容器、装置和方法 [P].

加尔·萨尔 ;

多夫·梅尔松 .

中国专利 :CN113423493A ,2021-09-21

[8]

用于处理平面处理物的方法、处理站和设备 [P].

亨利·孔策 .

中国专利 :CN102422728A ,2012-04-18

[9]

用于清洁和处理天然提取物的装置和方法 [P].

L·T·李 ;

T·J·谭 .

中国专利 :CN104540641B ,2015-04-22

[10]

用于处理气体流的装置和方法 [P].

M·恩岑霍夫 .

中国专利 :CN106574553A ,2017-04-19

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