药液供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03825579.0

申请日：

2003-06-20

公开(公告)号：

CN1713967B

公开(公告)日：

2005-12-28

发明(设计)人：

福泉正孝平冈尚树山本穗高中村刚志押田佑的场亨

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县横浜市

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B01F512

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

高龙鑫;王玉双

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20030620 授权公告日:20111019 终止日期:20190620
2006-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-10-19	授权	授权
2005-12-28	公开	公开
2008-12-10	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人变更前权利人:富士通株式会社变更后权利人:富士通微电子株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本国神奈川县变更后权利人:日本东京都登记生效日:20081107

共 50 条

[1]

药液供给装置以及药液供给方法 [P].

武石敏男 .

中国专利 :CN102576660B ,2012-07-11

[2]

药液供给装置以及药液供给方法 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN1509199A ,2004-06-30

[3]

药液供给装置 [P].

中谷耕治 ;

笠川郁 .

日本专利 :CN117836495A ,2024-04-05

[4]

药液供给装置 [P].

中谷耕治 ;

笠川郁 .

日本专利 :CN117858996A ,2024-04-09

[5]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN1424742A ,2003-06-18

[6]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN100578016C ,2008-06-04

[7]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN100549418C ,2008-05-28

[8]

药液供给装置 [P].

金银洙 ;

闵天基 ;

朴庸硕 .

中国专利 :CN101183220B ,2008-05-21

[9]

药液供给装置 [P].

笠川郁 ;

中谷耕治 ;

中山裕司 ;

罗丹 .

中国专利 :CN115335576A ,2022-11-11

[10]

药液供给装置 [P].

笠川郁 ;

中谷耕治 ;

中山裕司 .

中国专利 :CN115349043A ,2022-11-15

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