药液供给装置以及药液供给方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02809898.6

申请日：

2002-12-06

公开(公告)号：

CN1509199A

公开(公告)日：

2004-06-30

发明(设计)人：

矢岛丈夫

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

B01D1900

IPC分类号：

B05C1110 H01L21027 G03F716

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

张会华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101596338104 IPC(主分类):B01D 19/00 专利号:ZL028098986 申请日:20021206 授权公告日:20051005 终止日期:20131206
2004-06-30	公开	公开
2005-10-05	授权	授权
2004-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

药液供给装置以及药液供给方法 [P].

武石敏男 .

中国专利 :CN102576660B ,2012-07-11

[2]

清洗药液供给装置以及清洗药液供给方法 [P].

豊増富士彦 ;

国泽淳次 .

中国专利 :CN114570261A ,2022-06-03

[3]

药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法 [P].

樋口鲇美 ;

藤田惠理 ;

岩畑翔太 ;

尾辻正幸 ;

藤谷佳礼 .

中国专利 :CN109411387B ,2019-03-01

[4]

药液供给装置 [P].

中谷耕治 ;

笠川郁 .

日本专利 :CN117836495A ,2024-04-05

[5]

药液供给装置 [P].

中谷耕治 ;

笠川郁 .

日本专利 :CN117858996A ,2024-04-09

[6]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN1424742A ,2003-06-18

[7]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN100578016C ,2008-06-04

[8]

药液供给装置 [P].

福泉正孝 ;

平冈尚树 ;

山本穗高 ;

中村刚志 ;

押田佑 ;

的场亨 .

中国专利 :CN1713967B ,2005-12-28

[9]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN100549418C ,2008-05-28

[10]

药液供给装置 [P].

金银洙 ;

闵天基 ;

朴庸硕 .

中国专利 :CN101183220B ,2008-05-21

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