清洗药液供给装置以及清洗药液供给方法

被引：0

申请号：

CN202111421977.7

申请日：

2021-11-26

公开(公告)号：

CN114570261A

公开(公告)日：

2022-06-03

发明(设计)人：

豊増富士彦国泽淳次

申请人：

申请人地址：

日本东京大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B01F3380

IPC分类号：

B01F3580 H01L2167

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨贝贝;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

清洗药液供给装置、清洗药液供给方法及清洗单元 [P].

丰增富士彦 ;

丸山徹 ;

国泽淳次 .

中国专利 :CN105280525A ,2016-01-27

[2]

药液供给装置以及药液供给方法 [P].

武石敏男 .

中国专利 :CN102576660B ,2012-07-11

[3]

药液供给装置以及药液供给方法 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN1509199A ,2004-06-30

[4]

药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法 [P].

樋口鲇美 ;

藤田惠理 ;

岩畑翔太 ;

尾辻正幸 ;

藤谷佳礼 .

中国专利 :CN109411387B ,2019-03-01

[5]

药液供给装置 [P].

中谷耕治 ;

笠川郁 .

日本专利 :CN117836495A ,2024-04-05

[6]

药液供给装置 [P].

中谷耕治 ;

笠川郁 .

日本专利 :CN117858996A ,2024-04-09

[7]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN1424742A ,2003-06-18

[8]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN100578016C ,2008-06-04

[9]

药液供给装置 [P].

福泉正孝 ;

平冈尚树 ;

山本穗高 ;

中村刚志 ;

押田佑 ;

的场亨 .

中国专利 :CN1713967B ,2005-12-28

[10]

药液供给装置 [P].

矢岛丈夫 .

中国专利 :CN100549418C ,2008-05-28

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