氮化硅反应炉的吹扫方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810483320.5

申请日：

2018-05-18

公开(公告)号：

CN108660436A

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

徐兴国姜波张凌越

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1656 H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/44 申请公布日:20181016
2018-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20180518
2018-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化硅反应炉 [P].

王南园 ;

贾钰浦 ;

王泽坤 .

中国专利 :CN212778619U ,2021-03-23

[2]

高纯度氮化硅反应炉 [P].

王占营 ;

刘宗才 ;

王占军 ;

付随州 ;

王兵 ;

王帅印 ;

王亚辉 ;

王志永 .

中国专利 :CN107726866A ,2018-02-23

[3]

氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统 [P].

王占营 ;

刘宗才 ;

王占军 ;

付随州 ;

王兵 ;

王帅印 ;

王亚辉 ;

王志永 .

中国专利 :CN207095301U ,2018-03-13

[4]

氮化硅反应炉内胆顶部专用防龟裂耐火材料 [P].

王占营 ;

王占军 ;

宋广林 ;

王亚辉 ;

王志永 ;

张翠萍 .

中国专利 :CN209416052U ,2019-09-20

[5]

氮化硅反应炉温度均匀新结构 [P].

王占营 ;

刘宗才 ;

王占军 ;

付随州 ;

王兵 ;

王帅印 ;

王亚辉 ;

王志永 .

中国专利 :CN207095300U ,2018-03-13

[6]

氮化硅纳米线制备方法，氮化硅纳米线、氮化硅粉体及氮化硅亚微米粉体 [P].

雷超 ;

魏飞 ;

张晨曦 .

中国专利 :CN106477538A ,2017-03-08

[7]

新式氮化硅反应槽 [P].

杨军 .

中国专利 :CN206064383U ,2017-04-05

[8]

氮化硅电开水炉 [P].

闫四清 .

中国专利 :CN104296366A ,2015-01-21

[9]

低压预热燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法 [P].

王福 ;

杨连弟 ;

王京甫 ;

徐锦标 ;

郭金砚 ;

邹艺峰 ;

刘得顺 .

中国专利 :CN102219194A ,2011-10-19

[10]

氮化硅电开水炉 [P].

陈长明 .

中国专利 :CN2410574Y ,2000-12-13

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