薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310246571.9

申请日：

2013-06-20

公开(公告)号：

CN103866237A

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

姜声钟

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

张红霞;周艳玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101634488417 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013102465719 申请日:20130620
2014-06-18	公开	公开
2018-04-06	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜沉积装置和使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法 [P].

李在哲 .

中国专利 :CN104419892A ,2015-03-18

[2]

薄膜沉积方法以及薄膜沉积装置 [P].

李锋 .

中国专利 :CN112941489A ,2021-06-11

[3]

薄膜沉积装置、薄膜沉积方法及薄膜沉积设备 [P].

朱志君 ;

王晖 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120193262A ,2025-06-24

[4]

金属薄膜的薄膜沉积装置以及金属薄膜沉积方法 [P].

佐藤祐规 ;

柳本博 ;

平冈基记 .

中国专利 :CN105452539A ,2016-03-30

[5]

薄膜沉积源、沉积装置和使用该沉积装置的沉积方法 [P].

李钟禹 .

中国专利 :CN103849857B ,2014-06-11

[6]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

李天天 ;

贺斌 ;

周培垄 ;

王晖 ;

贾社娜 ;

张山 ;

陶晓峰 ;

金京俊 .

中国专利 :CN119710643A ,2025-03-28

[7]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

戴明宇 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120174351A ,2025-06-20

[8]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

江润峰 ;

曹威 ;

戴树刚 .

中国专利 :CN103898476A ,2014-07-02

[9]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

戴明宇 ;

周培垄 ;

李天天 ;

费红财 ;

陈更明 ;

成康 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120366747A ,2025-07-25

[10]

薄膜沉积装置和薄膜沉积方法 [P].

李沅民 ;

杨与胜 ;

张迎春 .

中国专利 :CN101265574A ,2008-09-17

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