真空涂层设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02144430.7

申请日：

2002-09-27

公开(公告)号：

CN100427640C

公开(公告)日：

2003-04-09

发明(设计)人：

沃尔夫冈·埃尔比克姆汉斯·克里斯蒂安·黑希特迈克尔·霍夫曼法尔克·米尔德

申请人：

申请人地址：

联邦德国德累斯顿

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

林潮;顾红霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-22	授权	授权
2011-01-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101029338185 IPC(主分类):C23C 14/56 专利号:ZL021444307 申请日:20020927 授权公告日:20081022 终止日期:20091027
2004-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2003-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

真空涂层设备和用于操作真空涂层设备的方法 [P].

吉多·维勒斯 .

中国专利 :CN102282290A ,2011-12-14

[2]

一种模具真空涂层设备 [P].

王叔晖 ;

沈平 ;

赵鹏飞 ;

彭炜奇 .

中国专利 :CN222094668U ,2024-12-03

[3]

用于运行真空涂层设备的方法 [P].

C.瓦奇坦多夫 .

中国专利 :CN102683481A ,2012-09-19

[4]

一种高效真空涂层设备 [P].

姚松阳 .

中国专利 :CN216404516U ,2022-04-29

[5]

一种真空涂层设备用真空室的冷却装置 [P].

卢国英 ;

石昌仑 ;

兰睿 .

中国专利 :CN214088638U ,2021-08-31

[6]

用于带状基底的多层涂层装置以及带状基底真空涂层设备 [P].

约翰内斯·施特罗姆费尔 ;

米夏埃尔·亨切尔 ;

法尔克·奥托 ;

沃尔夫冈·富卡雷克 .

中国专利 :CN103998647B ,2014-08-20

[7]

一种真空涂层设备用清洁装置 [P].

刘毅 .

中国专利 :CN210754155U ,2020-06-16

[8]

一种带冷却机构的真空涂层设备 [P].

赵红艳 ;

刘胡山 ;

徐少宁 ;

李吉庆 .

中国专利 :CN212864962U ,2021-04-02

[9]

一种带冷却机构的真空涂层设备 [P].

蒋孝文 ;

陈寒文 .

中国专利 :CN217839122U ,2022-11-18

[10]

一种真空涂层设备新型T台装置 [P].

李标章 .

中国专利 :CN208586351U ,2019-03-08

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