真空涂层设备和用于操作真空涂层设备的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980153802.3

申请日：

2009-12-09

公开(公告)号：

CN102282290A

公开(公告)日：

2011-12-14

发明(设计)人：

吉多·维勒斯

申请人：

申请人地址：

德国比特费尔德-沃尔芬

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

张春水;田军锋

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-27	著录事项变更	著录事项变更变更事项:申请人变更前:索韦罗公司变更后:索韦罗有限公司变更事项:地址变更前:德国比特费尔德-沃尔芬变更后:德国比特费尔德-沃尔芬号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101386727845 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2009801538023
2012-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101177118477 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2009801538023 申请日:20091209
2011-12-14	公开	公开
2013-11-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101669891713 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2009801538023 申请公布日:20111214

共 50 条

[1]

真空涂层设备 [P].

沃尔夫冈·埃尔比克姆 ;

汉斯·克里斯蒂安·黑希特 ;

迈克尔·霍夫曼 ;

法尔克·米尔德 .

中国专利 :CN100427640C ,2003-04-09

[2]

用于运行真空涂层设备的方法 [P].

C.瓦奇坦多夫 .

中国专利 :CN102683481A ,2012-09-19

[3]

用于带状基底的多层涂层装置以及带状基底真空涂层设备 [P].

约翰内斯·施特罗姆费尔 ;

米夏埃尔·亨切尔 ;

法尔克·奥托 ;

沃尔夫冈·富卡雷克 .

中国专利 :CN103998647B ,2014-08-20

[4]

一种模具真空涂层设备 [P].

王叔晖 ;

沈平 ;

赵鹏飞 ;

彭炜奇 .

中国专利 :CN222094668U ,2024-12-03

[5]

一种高效真空涂层设备 [P].

姚松阳 .

中国专利 :CN216404516U ,2022-04-29

[6]

一种真空涂层设备用真空室的冷却装置 [P].

卢国英 ;

石昌仑 ;

兰睿 .

中国专利 :CN214088638U ,2021-08-31

[7]

一种带冷却机构的真空涂层设备 [P].

赵红艳 ;

刘胡山 ;

徐少宁 ;

李吉庆 .

中国专利 :CN212864962U ,2021-04-02

[8]

一种带冷却机构的真空涂层设备 [P].

蒋孝文 ;

陈寒文 .

中国专利 :CN217839122U ,2022-11-18

[9]

一种真空涂层设备的冷却系统 [P].

刘毅 .

中国专利 :CN210420125U ,2020-04-28

[10]

一种真空涂层设备的冷却系统 [P].

海玉龙 ;

郭红波 ;

周杰 .

中国专利 :CN210965743U ,2020-07-10

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