等离子体刻蚀机的装载系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320177981.8

申请日：

2013-04-10

公开(公告)号：

CN203205377U

公开(公告)日：

2013-09-18

发明(设计)人：

张钦亮平志韩苏静洪王谟陈骝

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路129号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3720

代理机构：

浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100

代理人：

赵芳;徐关寿

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101723374458 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL2013201779818 申请日:20130410 授权公告日:20130918 终止日期:20160410
2013-09-18	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体刻蚀机的装载系统 [P].

张钦亮 ;

平志韩 ;

苏静洪 ;

王谟 ;

陈骝 .

中国专利 :CN103219218B ,2013-07-24

[2]

一种等离子体刻蚀机的传片系统 [P].

张钦亮 ;

平志韩 ;

苏静洪 ;

王谟 ;

陈骝 .

中国专利 :CN103227084B ,2013-07-31

[3]

一种等离子体刻蚀机的传片系统 [P].

张钦亮 ;

平志韩 ;

苏静洪 ;

王谟 ;

贾伟 .

中国专利 :CN203205376U ,2013-09-18

[4]

等离子体刻蚀机 [P].

伍波 ;

张勇 ;

李果山 .

中国专利 :CN201194232Y ,2009-02-11

[5]

等离子体刻蚀机 [P].

邱勇 ;

刘海洋 ;

李娜 ;

王铖熠 ;

侯永刚 ;

陈兆超 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN111383888A ,2020-07-07

[6]

等离子体刻蚀机 [P].

刘波 ;

单书珊 ;

乔彦彬 ;

李建强 ;

陈燕宁 ;

张海峰 .

中国专利 :CN208444807U ,2019-01-29

[7]

等离子体刻蚀机 [P].

王长梗 .

中国专利 :CN306033696S ,2020-09-04

[8]

等离子体刻蚀机台 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN203895414U ,2014-10-22

[9]

等离子体刻蚀机反应腔的内衬及等离子体刻蚀机反应腔 [P].

李娜 ;

胡冬冬 ;

程实然 ;

许开东 .

中国专利 :CN206432234U ,2017-08-22

[10]

等离子体刻蚀机的预真空腔 [P].

胡冬冬 ;

李娜 ;

车东辰 .

中国专利 :CN206098342U ,2017-04-12

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