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一种基于机器视觉的芯片表面缺陷检测装置及其检测方法
被引：0
申请号：
CN202211403465.2
申请日：
2022-11-09
公开(公告)号：
CN115615924A
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
刘炎
胡翔
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区民治街道新牛社区民治大道牛栏前大厦A1014
IPC主分类号：
G01N2115
IPC分类号：
G01N2188
代理机构：
深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙) 44357
代理人：
黄立强
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 公开 | 公开 |
| 2023-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/15 申请日:20221109 |