一种夹持式半导体机械手末端执行器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820563623.3

申请日：

2018-04-19

公开(公告)号：

CN208179574U

公开(公告)日：

2018-12-04

发明(设计)人：

李晓东

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区科创十四街99号33幢C栋603室

IPC主分类号：

B25J1502

IPC分类号：

B25J1508

代理机构：

北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577

代理人：

李芙蓉;孙进华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多功能半导体机械手末端执行器 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN208179573U ,2018-12-04

[2]

试片夹持机械手末端执行器 [P].

P·巴基 ;

P·菲利普斯基 .

中国专利 :CN100373580C ,2006-07-12

[3]

试片夹持机械手末端执行器 [P].

P·巴基 ;

P·菲利普斯基 .

中国专利 :CN1336008A ,2002-02-13

[4]

一种实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN208117856U ,2018-11-20

[5]

一种机械手末端执行器 [P].

史颖刚 ;

郭阳 ;

刘利 ;

李汝春 ;

张凯利 ;

郭娇娇 ;

姜豪 ;

周俊童 ;

谢春宇 ;

王壮壮 ;

张春辉 .

中国专利 :CN205325704U ,2016-06-22

[6]

末端执行器及机械手 [P].

张恪海 ;

邱建喜 ;

赖长敏 ;

邓善贤 .

中国专利 :CN212763498U ,2021-03-23

[7]

一种机械手末端执行器 [P].

章国庆 ;

王明黔 ;

黄伟莉 ;

张克义 ;

位旭州 ;

谢小春 .

中国专利 :CN205386824U ,2016-07-20

[8]

机械手末端执行器 [P].

管莉娜 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

王金涛 ;

温燕修 ;

周道 ;

边弘晔 .

中国专利 :CN103192401B ,2013-07-10

[9]

可调距式机械手末端执行器 [P].

魏雅君 ;

倪延昕 ;

倪博宇 .

中国专利 :CN210282348U ,2020-04-10

[10]

末端执行器、机械手、传送设备及半导体系统 [P].

张朋兵 ;

顾橙蕾 ;

唐乐 .

中国专利 :CN120809659B ,2025-11-14

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