末端执行器、机械手、传送设备及半导体系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511323904.2

申请日：

2025-09-17

公开(公告)号：

CN120809659B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

张朋兵顾橙蕾唐乐

申请人：

上海邦芯半导体科技有限公司

申请人地址：

201400 上海市奉贤区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

上海华霆知识产权代理事务所(普通合伙) 31576

代理人：

王宁萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250917
2025-10-17	公开	公开
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

末端执行器、机械手、传送设备及半导体系统 [P].

张朋兵 ;

顾橙蕾 ;

唐乐 .

中国专利 :CN120809659A ,2025-10-17

[2]

适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备 [P].

张朋兵 ;

顾橙蕾 ;

唐乐 .

中国专利 :CN121123103A ,2025-12-12

[3]

末端执行器及机械手 [P].

张恪海 ;

邱建喜 ;

赖长敏 ;

邓善贤 .

中国专利 :CN212763498U ,2021-03-23

[4]

机械手末端执行器 [P].

管莉娜 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

王金涛 ;

温燕修 ;

周道 ;

边弘晔 .

中国专利 :CN103192401B ,2013-07-10

[5]

调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备 [P].

张朋兵 ;

顾橙蕾 ;

唐乐 .

中国专利 :CN120824247B ,2025-11-14

[6]

调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备 [P].

张朋兵 ;

顾橙蕾 ;

唐乐 .

中国专利 :CN120824247A ,2025-10-21

[7]

一种多功能半导体机械手末端执行器 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN208179573U ,2018-12-04

[8]

一种夹持式半导体机械手末端执行器 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN208179574U ,2018-12-04

[9]

试片夹持机械手末端执行器 [P].

P·巴基 ;

P·菲利普斯基 .

中国专利 :CN100373580C ,2006-07-12

[10]

试片夹持机械手末端执行器 [P].

P·巴基 ;

P·菲利普斯基 .

中国专利 :CN1336008A ,2002-02-13

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