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调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202511323920.1
申请日
:
2025-09-17
公开(公告)号
:
CN120824247A
公开(公告)日
:
2025-10-21
发明(设计)人
:
张朋兵
顾橙蕾
唐乐
申请人
:
上海邦芯半导体科技有限公司
申请人地址
:
201304 上海市奉贤区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房
IPC主分类号
:
H01L21/683
IPC分类号
:
H01L21/687
代理机构
:
上海华霆知识产权代理事务所(普通合伙) 31576
代理人
:
王宁萍
法律状态
:
公开
国省代码
:
上海市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-10-21
公开
公开
2025-11-07
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250917
2025-11-14
授权
授权
共 50 条
[1]
调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备
[P].
张朋兵
论文数:
0
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
张朋兵
;
顾橙蕾
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
顾橙蕾
;
唐乐
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
唐乐
.
中国专利
:CN120824247B
,2025-11-14
[2]
末端执行器及机械手
[P].
张恪海
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张恪海
;
邱建喜
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邱建喜
;
赖长敏
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赖长敏
;
邓善贤
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邓善贤
.
中国专利
:CN212763498U
,2021-03-23
[3]
机械手末端执行器
[P].
管莉娜
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管莉娜
;
曲道奎
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曲道奎
;
徐方
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徐方
;
李学威
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李学威
;
王金涛
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王金涛
;
温燕修
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温燕修
;
周道
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周道
;
边弘晔
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边弘晔
.
中国专利
:CN103192401B
,2013-07-10
[4]
适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备
[P].
张朋兵
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
张朋兵
;
顾橙蕾
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
顾橙蕾
;
唐乐
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
唐乐
.
中国专利
:CN121123103A
,2025-12-12
[5]
末端执行器、机械手、传送设备及半导体系统
[P].
张朋兵
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
张朋兵
;
顾橙蕾
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上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
顾橙蕾
;
唐乐
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
唐乐
.
中国专利
:CN120809659B
,2025-11-14
[6]
末端执行器、机械手、传送设备及半导体系统
[P].
张朋兵
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
张朋兵
;
顾橙蕾
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
顾橙蕾
;
唐乐
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机构:
上海邦芯半导体科技有限公司
上海邦芯半导体科技有限公司
唐乐
.
中国专利
:CN120809659A
,2025-10-17
[7]
用于机械手的末端执行器及机械手
[P].
刘来用
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刘来用
;
邓联迎
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邓联迎
.
中国专利
:CN108994870A
,2018-12-14
[8]
用于传送基底的机械手的末端执行器
[P].
I·于亚萨
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I·于亚萨
;
Y·马鲁亚马
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Y·马鲁亚马
;
T·托基
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T·托基
;
I·富卡祖
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I·富卡祖
.
中国专利
:CN101652852A
,2010-02-17
[9]
剪刀(机械手末端执行器)
[P].
梁世彬
论文数:
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梁世彬
.
中国专利
:CN306246995S
,2020-12-25
[10]
试片夹持机械手末端执行器
[P].
P·巴基
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P·巴基
;
P·菲利普斯基
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P·菲利普斯基
.
中国专利
:CN100373580C
,2006-07-12
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