一种生产氮化硅的系统

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专利类型
发明
申请号
CN201510768516.5
申请日
2015-11-11
公开(公告)号
CN106672922A
公开(公告)日
2017-05-17
发明(设计)人
银波 夏高强 范协诚 宋高杰
申请人
申请人地址
830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
IPC主分类号
C01B21068
IPC分类号
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
柴亮;张天舒
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种生产氮化硅的系统 [P]. 
银波 ;
夏高强 ;
范协诚 ;
宋高杰 .
中国专利 :CN205099363U ,2016-03-23
[2]
一种生产氮化硅的系统 [P]. 
银波 ;
夏高强 ;
范协诚 ;
宋高杰 .
中国专利 :CN205133153U ,2016-04-06
[3]
一种氮化硅的制备方法和生产氮化硅的系统 [P]. 
银波 ;
夏高强 ;
范协诚 ;
宋高杰 .
中国专利 :CN106672923A ,2017-05-17
[4]
氮化硅粉的除杂装置、氮化硅粉生产系统 [P]. 
许明海 ;
余洋 ;
张虎君 ;
黄永远 ;
王兴园 ;
于志轩 ;
程争宁 ;
高树功 .
中国专利 :CN222111787U ,2024-12-06
[5]
一种α相氮化硅的生产方法及α相氮化硅 [P]. 
潘小龙 ;
黄彬 ;
张吉武 ;
刘兴平 ;
宋娟娟 .
中国专利 :CN107285772A ,2017-10-24
[6]
一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅 [P]. 
张吉武 ;
黄彬 ;
潘小龙 ;
刘兴平 ;
宋娟娟 .
中国专利 :CN107285287A ,2017-10-24
[7]
一种生产氮化硅的反应系统 [P]. 
张志炳 ;
孙海宁 ;
李磊 ;
吕权 ;
张豪 ;
李夏冰 ;
周政 .
中国专利 :CN218422701U ,2023-02-03
[8]
一种氮化硅基板的制备方法及氮化硅基板 [P]. 
罗贵成 ;
李成安 ;
杨世兵 ;
詹磊 ;
胡桐滔 .
中国专利 :CN120664885A ,2025-09-19
[9]
多层氮化硅膜 [P]. 
李世远 ;
金武性 ;
李彰原 ;
雷新建 .
美国专利 :CN118475717A ,2024-08-09
[10]
一种氮化硅粉末的制备系统 [P]. 
夏静豪 ;
王运宝 .
中国专利 :CN216396313U ,2022-04-29