一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅

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专利类型
发明
申请号
CN201610205705.6
申请日
2016-04-05
公开(公告)号
CN107285287A
公开(公告)日
2017-10-24
发明(设计)人
张吉武 黄彬 潘小龙 刘兴平 宋娟娟
申请人
申请人地址
830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
IPC主分类号
C01B21068
IPC分类号
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
彭瑞欣;张天舒
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种α相氮化硅的生产方法及α相氮化硅 [P]. 
潘小龙 ;
黄彬 ;
张吉武 ;
刘兴平 ;
宋娟娟 .
中国专利 :CN107285772A ,2017-10-24
[2]
量产α-相氮化硅的多步氮化工艺及α-相氮化硅 [P]. 
张耀华 ;
宫亚峰 ;
吴万里 ;
王思嘉 ;
张吉武 ;
刘彬 ;
范协诚 ;
黄彬 .
中国专利 :CN114572942A ,2022-06-03
[3]
氮化硅烧结体、氮化硅基板及氮化硅电路基板 [P]. 
青木克之 ;
岩井健太郎 ;
深泽孝幸 ;
门马旬 ;
佐野孝 .
中国专利 :CN112313191B ,2021-02-02
[4]
氮化法生产高纯β相氮化硅的制备方法 [P]. 
刘在翔 ;
邸庆法 .
中国专利 :CN104860274A ,2015-08-26
[5]
高α相氮化硅粉体的生产方法 [P]. 
夏静豪 ;
夏凡 .
中国专利 :CN112408992B ,2021-02-26
[6]
一种α相氮化硅的制备方法 [P]. 
刘在翔 ;
邸庆法 .
中国专利 :CN104528672A ,2015-04-22
[7]
一种高α相氮化硅的制备方法 [P]. 
张亚光 ;
杜宁 ;
张辉 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN104291829A ,2015-01-21
[8]
氮化硅粉体α相转相装置 [P]. 
张芬红 .
中国专利 :CN2546432Y ,2003-04-23
[9]
氮化硅纳米线制备方法,氮化硅纳米线、氮化硅粉体及氮化硅亚微米粉体 [P]. 
雷超 ;
魏飞 ;
张晨曦 .
中国专利 :CN106477538A ,2017-03-08
[10]
氮化硅基板及氮化硅电路基板 [P]. 
青木克之 ;
深泽孝幸 ;
门马旬 ;
岩井健太郎 .
中国专利 :CN112292912A ,2021-01-29