维持恒压的液体供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880083003.2

申请日：

2018-11-08

公开(公告)号：

CN111656503A

公开(公告)日：

2020-09-11

发明(设计)人：

李连范林泽圭林根福赵皓峻金圣洙安哲秀金哲泳杨承和

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道安城市元谷面升良街162

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594

代理人：

张陆军;张迎新

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181108
2020-09-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种液体恒压供给装置 [P].

朱锋 .

中国专利 :CN205472616U ,2016-08-17

[2]

液体混合供给装置 [P].

李连范 ;

林泽圭 ;

林根福 ;

赵皓峻 ;

金圣洙 ;

安哲秀 ;

金哲泳 ;

杨承和 .

中国专利 :CN112399883B ,2021-02-23

[3]

液体供给装置、液体供给方法以及液体供给程序 [P].

井之上雄一 ;

早野一树 ;

后藤麻里奈 ;

堤大士 .

日本专利 :CN120225972A ,2025-06-27

[4]

液体供给装置、具有液体供给装置的液体供给系统、以及使用该装置和该系统的液体供给方法 [P].

辻元隆仁 ;

门田浩二 ;

园田智章 .

中国专利 :CN103727002A ,2014-04-16

[5]

液体供给装置及液体供给方法 [P].

今井弘 .

中国专利 :CN115402999A ,2022-11-29

[6]

液体供给装置和液体供给方法 [P].

渡边新 .

日本专利 :CN120189006A ,2025-06-24

[7]

液体供给装置以及液体供给方法 [P].

丰增富士彦 ;

国泽淳次 .

日本专利 :CN108695203B ,2024-08-30

[8]

液体供给装置以及液体供给方法 [P].

丰增富士彦 ;

国泽淳次 .

中国专利 :CN108695203A ,2018-10-23

[9]

液体供给装置、液体喷射装置及液体供给方法 [P].

横内秀弥 .

中国专利 :CN101456293A ,2009-06-17

[10]

液体供给针、液体供给装置以及液体喷射装置 [P].

横内秀弥 .

中国专利 :CN202573288U ,2012-12-05

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