含铜金属层的蚀刻方法、薄膜晶体管、显示装置及蚀刻剂

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911036116.X

申请日：

2019-10-29

公开(公告)号：

CN110714200A

公开(公告)日：

2020-01-21

发明(设计)人：

钱浩

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F102

IPC分类号：

C23F118 H01L21768

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

杨艇要

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/02 申请日:20191029
2021-03-02	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23F 1/02 变更事项:申请人变更前:深圳市华星光电技术有限公司变更后:TCL华星光电技术有限公司变更事项:地址变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
2020-01-21	公开	公开

共 50 条

[1]

蚀刻剂及使用蚀刻剂制造布线及薄膜晶体管基板的方法 [P].

朴弘植 ;

金时烈 ;

郑钟铉 ;

申原硕 .

中国专利 :CN1877448A ,2006-12-13

[2]

薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物 [P].

李骐范 ;

曺三永 ;

金南绪 ;

具炳秀 .

中国专利 :CN101070596A ,2007-11-14

[3]

薄膜晶体管基板金属层的金属蚀刻终点测定方法 [P].

梅园 ;

李金城 .

中国专利 :CN110148568A ,2019-08-20

[4]

薄膜晶体管、显示装置及薄膜晶体管的制造方法 [P].

田中淳 .

中国专利 :CN107017287B ,2017-08-04

[5]

薄膜晶体管、显示装置及薄膜晶体管的制备方法 [P].

张峰 ;

李阳 ;

于锋 ;

杨海涛 ;

马应海 ;

刘晓佳 .

中国专利 :CN109742156A ,2019-05-10

[6]

薄膜晶体管、薄膜晶体管的制造方法及显示装置 [P].

朴钟贤 ;

柳春基 ;

朴鲜 ;

姜镇熙 ;

李律圭 .

中国专利 :CN102214697A ,2011-10-12

[7]

薄膜晶体管、显示装置及薄膜晶体管的制造方法 [P].

黄秋平 .

中国专利 :CN104377247A ,2015-02-25

[8]

薄膜晶体管、薄膜晶体管的制造方法及显示装置 [P].

李文辉 .

中国专利 :CN105140271B ,2015-12-09

[9]

薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻液组合物 [P].

郑锺铉 ;

朴弘植 ;

洪瑄英 ;

金俸均 ;

李智鲜 ;

李炳珍 ;

李骐范 ;

曺三永 ;

具炳秀 ;

申贤哲 ;

徐源国 ;

朴贵弘 ;

河泰成 .

中国专利 :CN101265579B ,2008-09-17

[10]

薄膜晶体管、显示装置及薄膜晶体管的制作方法 [P].

晏国文 .

中国专利 :CN115132746A ,2022-09-30

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