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半导体压力传感器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200480002413.8
申请日：
2004-01-29
公开(公告)号：
CN1739014B
公开(公告)日：
2006-02-22
发明(设计)人：
佐藤正和
伊东达也
野口秀人
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G01L900
IPC分类号：
H01L2984
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
徐谦
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2015-03-25 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101602905104 IPC(主分类):G01L 9/00 专利号:ZL2004800024138 申请日:20040129 授权公告日:20100505 终止日期:20140129 |
| 2006-02-22 | 公开 | 公开 |
| 2010-05-05 | 授权 | 授权 |
| 2010-09-15 | 发明专利更正 | 发明专利更正 卷:26 号:18 页码:扉页 申请号:2004800024138 更正项目:发明人 误:佐藤正和|伊东达也|野口秀人 正:佐藤正和|伊藤达也|野口秀人 |