靶材坯料打磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020589675.1

申请日：

2010-10-29

公开(公告)号：

CN201872049U

公开(公告)日：

2011-06-22

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽周伟君

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园安山路198号

IPC主分类号：

B24B1900

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-22	授权	授权
2014-09-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101704875278 IPC(主分类):B24B 19/00 专利号:ZL2010205896751 变更事项:专利权人变更前:宁波江丰电子材料有限公司变更后:宁波江丰电子材料股份有限公司变更事项:地址变更前:315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园安山路198号变更后:315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园安山路198号
2020-11-17	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B24B 19/00 申请日:20101029 授权公告日:20110622

共 50 条

[1]

一种靶材打磨装置 [P].

惠知 ;

温艳玲 ;

葛小光 .

中国专利 :CN209533012U ,2019-10-25

[2]

一种靶材打磨装置 [P].

曹兴民 .

中国专利 :CN214771046U ,2021-11-19

[3]

靶材打磨装置和磁控溅射设备 [P].

范贵林 ;

任嘉乐 ;

刘杰 ;

林维乐 ;

陈国栋 .

中国专利 :CN223235961U ,2025-08-19

[4]

一种旋转靶材的打磨装置 [P].

曹兴民 .

中国专利 :CN214770865U ,2021-11-19

[5]

一种旋转靶材的打磨装置 [P].

罗永春 .

中国专利 :CN202240825U ,2012-05-30

[6]

一种旋转靶材在线打磨装置 [P].

周伟东 ;

张顺 .

中国专利 :CN209239653U ,2019-08-13

[7]

一种旋转靶材的打磨装置 [P].

胡茂横 .

中国专利 :CN210633494U ,2020-05-29

[8]

一种旋转靶材表面打磨装置 [P].

陈标 ;

郭朋 ;

刘所心 .

中国专利 :CN213053964U ,2021-04-27

[9]

一种节约型靶材打磨装置 [P].

温艳玲 ;

惠知 ;

葛小光 .

中国专利 :CN209533013U ,2019-10-25

[10]

一种用于靶材的表面打磨装置 [P].

穆健刚 ;

赵伟 ;

陈来军 .

中国专利 :CN221048012U ,2024-05-31

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