反应腔室及等离子体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310455870.3

申请日：

2013-09-29

公开(公告)号：

CN104513971A

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

董志清

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/46 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2015-04-15	公开	公开
2017-07-21	授权	授权
2015-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609210376 IPC(主分类):C23C 16/46 专利申请号:2013104558703 申请日:20130929

共 50 条

[1]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN104419910A ,2015-03-18

[2]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

杨玉杰 .

中国专利 :CN104746019B ,2015-07-01

[3]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李国荣 ;

杨盟 ;

邢涛 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN104746042A ,2015-07-01

[4]

一种反应腔室及等离子体加工设备 [P].

张慧 .

中国专利 :CN104099584B ,2014-10-15

[5]

加热装置、反应腔室及等离子体加工设备 [P].

张秀川 ;

蒲春 .

中国专利 :CN104372309B ,2015-02-25

[6]

反应腔室以及等离子体加工设备 [P].

周卫国 .

中国专利 :CN104073783B ,2014-10-01

[7]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李兴存 .

中国专利 :CN110875168B ,2020-03-10

[8]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

袁福顺 .

中国专利 :CN104746044B ,2015-07-01

[9]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

张彦召 ;

陈鹏 ;

佘清 .

中国专利 :CN104746043A ,2015-07-01

[10]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

张风港 .

中国专利 :CN104637837A ,2015-05-20

← 1 2 3 4 5 →