反应腔室以及等离子体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310097011.1

申请日：

2013-03-25

公开(公告)号：

CN104073783B

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

周卫国

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760554432 IPC(主分类):C23C 16/52 专利号:ZL2013100970111 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2014-10-01	公开	公开
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587975972 IPC(主分类):C23C 16/52 专利申请号:2013100970111 申请日:20130325
2017-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN104419910A ,2015-03-18

[2]

反应腔室以及等离子体加工设备 [P].

彭宇霖 ;

邢涛 .

中国专利 :CN104916564B ,2015-09-16

[3]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

杨玉杰 .

中国专利 :CN104746019B ,2015-07-01

[4]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

董志清 .

中国专利 :CN104513971A ,2015-04-15

[5]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李国荣 ;

杨盟 ;

邢涛 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN104746042A ,2015-07-01

[6]

加热腔室以及等离子体加工设备 [P].

李栋才 ;

王厚工 ;

耿波 ;

赵梦欣 ;

丁培军 .

中国专利 :CN103374698A ,2013-10-30

[7]

进气装置、反应腔室以及等离子体加工设备 [P].

杨斌 .

中国专利 :CN104073782A ,2014-10-01

[8]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN108987237A ,2018-12-11

[9]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN108987237B ,2024-06-21

[10]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN208478281U ,2019-02-05

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