进气装置、反应腔室以及等离子体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310105178.8

申请日：

2013-03-28

公开(公告)号：

CN104073782A

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

杨斌

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/513 申请公布日:20141001
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587981442 IPC(主分类):C23C 16/513 专利申请号:2013101051788 申请日:20130328
2014-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种进气装置、反应腔室以及等离子体加工设备 [P].

张慧 .

中国专利 :CN103361633A ,2013-10-23

[2]

反应腔室以及等离子体加工设备 [P].

周卫国 .

中国专利 :CN104073783B ,2014-10-01

[3]

一种进气装置、反应腔室及等离子体加工设备 [P].

杨斌 ;

郑友山 .

中国专利 :CN104099583B ,2014-10-15

[4]

一种进气装置、反应腔室及等离子体加工设备 [P].

郑友山 ;

彭宇霖 ;

刘凯 .

中国专利 :CN104681385B ,2015-06-03

[5]

反应腔室以及等离子体加工设备 [P].

彭宇霖 ;

邢涛 .

中国专利 :CN104916564B ,2015-09-16

[6]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

杨玉杰 .

中国专利 :CN104746019B ,2015-07-01

[7]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

董志清 .

中国专利 :CN104513971A ,2015-04-15

[8]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李国荣 ;

杨盟 ;

邢涛 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN104746042A ,2015-07-01

[9]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN104419910A ,2015-03-18

[10]

加热腔室以及等离子体加工设备 [P].

李栋才 ;

王厚工 ;

耿波 ;

赵梦欣 ;

丁培军 .

中国专利 :CN103374698A ,2013-10-30

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