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镀膜机坩埚公转定位结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201720179621.X
申请日：
2017-02-27
公开(公告)号：
CN206486585U
公开(公告)日：
2017-09-12
发明(设计)人：
刘忠兴
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市江阴市镇澄路1号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：
张欢勇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-09-12 | 授权 | 授权 |