一种PBN坩埚镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021717362.X

申请日：

2020-08-17

公开(公告)号：

CN213670177U

公开(公告)日：

2021-07-13

发明(设计)人：

齐正阳李房斌周铁军白平平

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区

IPC主分类号：

B05C309

IPC分类号：

B05C1110 B05C1302 C30B2300 C30B2814

代理机构：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-13	授权	授权
2022-01-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B05C 3/09 登记生效日:20211228 变更事项:专利权人变更前权利人:广东先导先进材料股份有限公司变更后权利人:广东先导微电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区变更后权利人:511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

共 50 条

[1]

一种PBN坩埚烘干装置 [P].

齐正阳 ;

李房斌 ;

周铁军 ;

白平平 .

中国专利 :CN213652731U ,2021-07-09

[2]

一种镀膜机坩埚线圈 [P].

吴光淦 ;

杜蔚遥 .

中国专利 :CN215976011U ,2022-03-08

[3]

一种镀膜机坩埚 [P].

邹清华 ;

吴泰必 .

中国专利 :CN103409720B ,2013-11-27

[4]

一种新型PBN坩埚 [P].

朱刘 ;

刘留 .

中国专利 :CN203834048U ,2014-09-17

[5]

一种镀膜机坩埚设备 [P].

张鑫狄 ;

李冠政 .

中国专利 :CN103757590A ,2014-04-30

[6]

镀膜机坩埚公转定位结构 [P].

刘忠兴 .

中国专利 :CN206486585U ,2017-09-12

[7]

一种用于镀膜机的石墨坩埚 [P].

陈珂珩 .

中国专利 :CN208346248U ,2019-01-08

[8]

一种镀膜机的镀膜架 [P].

张兵 .

中国专利 :CN213266689U ,2021-05-25

[9]

一种坩埚更换装置及镀膜机 [P].

冯亚青 ;

朱文俊 ;

张敬娣 ;

陆涵 ;

梁舰 ;

史晓波 ;

冯敏强 ;

廖良生 .

中国专利 :CN213739642U ,2021-07-20

[10]

一种异形PBN坩埚 [P].

罗福敏 ;

柯尊斌 ;

王卿伟 .

中国专利 :CN216192878U ,2022-04-05

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