一种镀膜机坩埚设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310753996.9

申请日：

2013-12-31

公开(公告)号：

CN103757590A

公开(公告)日：

2014-04-30

发明(设计)人：

张鑫狄李冠政

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

广东广和律师事务所 44298

代理人：

刘敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-20	授权	授权
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582555486 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2013107539969 申请日:20131231
2014-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种镀膜机坩埚 [P].

邹清华 ;

吴泰必 .

中国专利 :CN103409720B ,2013-11-27

[2]

一种镀膜机坩埚线圈 [P].

吴光淦 ;

杜蔚遥 .

中国专利 :CN215976011U ,2022-03-08

[3]

一种PBN坩埚镀膜机 [P].

齐正阳 ;

李房斌 ;

周铁军 ;

白平平 .

中国专利 :CN213670177U ,2021-07-13

[4]

一种坩埚更换装置及镀膜机 [P].

冯亚青 ;

朱文俊 ;

张敬娣 ;

陆涵 ;

梁舰 ;

史晓波 ;

冯敏强 ;

廖良生 .

中国专利 :CN213739642U ,2021-07-20

[5]

镀膜机坩埚公转定位结构 [P].

刘忠兴 .

中国专利 :CN206486585U ,2017-09-12

[6]

一种镀膜机 [P].

吴玉源 .

中国专利 :CN215289010U ,2021-12-24

[7]

一种镀膜机 [P].

施享 .

中国专利 :CN108504999A ,2018-09-07

[8]

一种镀膜机 [P].

赵玉 .

中国专利 :CN211311575U ,2020-08-21

[9]

一种镀膜机 [P].

林晓 ;

林定安 ;

林章簿 .

中国专利 :CN114369797A ,2022-04-19

[10]

一种镀膜机 [P].

孙顺文 ;

侯树军 .

中国专利 :CN222975280U ,2025-06-13

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