一种坩埚更换装置及镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022565830.2

申请日：

2020-11-09

公开(公告)号：

CN213739642U

公开(公告)日：

2021-07-20

发明(设计)人：

冯亚青朱文俊张敬娣陆涵梁舰史晓波冯敏强廖良生

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

G02B110

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种镀膜机坩埚设备 [P].

张鑫狄 ;

李冠政 .

中国专利 :CN103757590A ,2014-04-30

[2]

一种镀膜机坩埚线圈 [P].

吴光淦 ;

杜蔚遥 .

中国专利 :CN215976011U ,2022-03-08

[3]

一种PBN坩埚镀膜机 [P].

齐正阳 ;

李房斌 ;

周铁军 ;

白平平 .

中国专利 :CN213670177U ,2021-07-13

[4]

一种用于镀膜机环形坩埚的材料压平装置 [P].

葛文志 ;

王懿伟 ;

翁欽盛 ;

矢岛大和 ;

葛文琴 ;

梁妙顺 .

中国专利 :CN207916133U ,2018-09-28

[5]

一种镀膜机坩埚 [P].

邹清华 ;

吴泰必 .

中国专利 :CN103409720B ,2013-11-27

[6]

一种维持镀膜机连续工作的晶振片更换装置 [P].

周朱华 ;

王祖勇 .

中国专利 :CN207877854U ,2018-09-18

[7]

一种清洗装置及镀膜机 [P].

蓝金花 ;

张喜冲 ;

吴玉源 ;

赵倩 ;

张芹 .

中国专利 :CN217911768U ,2022-11-29

[8]

镀膜机及镀膜装置 [P].

徐峥 .

中国专利 :CN206940976U ,2018-01-30

[9]

一种铸造机坩埚更换装置 [P].

王玉峰 .

中国专利 :CN213104429U ,2021-05-04

[10]

一种镀膜机用夹具及镀膜机 [P].

曹明刚 ;

王静 ;

庞文猛 ;

张磊 ;

王鑫 ;

刘雪莲 ;

陈步亮 ;

徐清 ;

焦新宇 ;

金作林 .

中国专利 :CN213506584U ,2021-06-22

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