一种二元钼合金溅射靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010744235.7

申请日：

2020-07-29

公开(公告)号：

CN111850490B

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

方宏孙虎民宁来元单玉郎张雪凤

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新河洛路269号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F500 C22C2704

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120

代理人：

李现艳

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/34 变更事项:申请人变更前:洛阳高新四丰电子材料有限公司变更后:丰联科光电（洛阳）股份有限公司变更事项:地址变更前:471000 河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新河洛路269号变更后:471000 河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新河洛路269号
2020-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200729
2020-10-30	公开	公开
2023-01-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种钼钨合金溅射靶材的制备方法 [P].

方宏 ;

孙虎民 ;

张雪凤 .

中国专利 :CN111254396A ,2020-06-09

[2]

钼合金溅射靶材及其制备方法 [P].

王广达 ;

季鹏飞 ;

张丹华 ;

牛曼 ;

王凤权 ;

常洋 .

中国专利 :CN118048546A ,2024-05-17

[3]

一种铌合金溅射靶材及其制备方法 [P].

方宏 ;

张雪凤 ;

孙虎民 .

中国专利 :CN113584366B ,2021-11-02

[4]

大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法 [P].

耿宏安 .

中国专利 :CN105714253B ,2016-06-29

[5]

一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法 [P].

吴吉娜 ;

武洲 ;

王娜 ;

朱琦 ;

张铁军 ;

付静波 ;

赵虎 .

中国专利 :CN110670032A ,2020-01-10

[6]

一种钼钛合金溅射靶材及其制备方法 [P].

方宏 ;

李帅方 ;

陈亚光 ;

张雪凤 ;

宋旭光 ;

刘翠云 .

中国专利 :CN118241068A ,2024-06-25

[7]

一种钼铌合金溅射靶材的制备方法 [P].

党晓明 ;

安耿 ;

李晶 ;

席莎 ;

赵虎 ;

刘仁智 .

中国专利 :CN105441884B ,2016-03-30

[8]

一种钼合金溅射靶材的制备工艺 [P].

张雪凤 ;

李帅方 ;

方宏 ;

陈亚光 ;

宁来元 ;

郭雅俊 .

中国专利 :CN114293160A ,2022-04-08

[9]

一种管状钼合金溅射靶材的热等静压制备方法 [P].

梁静 ;

李来平 ;

林小辉 ;

王晖 ;

王峰 ;

郑欣 .

中国专利 :CN104831245A ,2015-08-12

[10]

一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺 [P].

李帅方 ;

方宏 ;

孙虎民 ;

张雪凤 ;

刘宁平 ;

陈亚光 ;

高艳岭 .

中国专利 :CN110257784A ,2019-09-20

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