输送装置和输送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910536209.2

申请日：

2019-06-20

公开(公告)号：

CN110634781A

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

田边广太天野洋一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;刘芃茜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190620
2019-12-31	公开	公开

共 50 条

[1]

输送装置和输送方法 [P].

石松慎司 ;

奈须敬司 ;

日比野孝次 ;

山元芳朗 .

中国专利 :CN104106172B ,2014-10-15

[2]

输送装置和输送方法 [P].

前田浩平 ;

笹冈嘉一 .

中国专利 :CN113443386A ,2021-09-28

[3]

输送装置和输送方法 [P].

伊藤照明 .

中国专利 :CN103303639A ,2013-09-18

[4]

输送装置和输送方法 [P].

迈克尔·隆戈 ;

道格拉斯·埃文斯 ;

威廉·詹姆斯·哈里森 .

中国专利 :CN110327142A ,2019-10-15

[5]

输送装置和输送方法 [P].

网仓纪彦 ;

北正知 .

中国专利 :CN114121741A ,2022-03-01

[6]

输送装置和输送方法 [P].

岩田猛 ;

冈崎泰史 ;

植草敬介 ;

谷本理 .

中国专利 :CN104106173B ,2014-10-15

[7]

输送装置和输送方法 [P].

星辽佑 ;

青山康明 ;

金子悟 ;

小林启之 ;

玉腰武司 ;

神原克宏 ;

渡边洋 ;

鬼泽邦昭 .

日本专利 :CN113939996B ,2024-09-10

[8]

输送装置和输送方法 [P].

每-奥拉夫·布洛克霍夫 .

中国专利 :CN104428220A ,2015-03-18

[9]

输送装置和输送方法 [P].

迈克尔·隆戈 ;

道格拉斯·埃文斯 ;

威廉·詹姆斯·哈里森 .

中国专利 :CN107427375A ,2017-12-01

[10]

输送方法和输送装置 [P].

河边笃 .

中国专利 :CN110504190B ,2019-11-26

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