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输送方法和输送装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910397912.X
申请日：
2019-05-14
公开(公告)号：
CN110504190B
公开(公告)日：
2019-11-26
发明(设计)人：
河边笃
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-26 | 公开 | 公开 |
| 2019-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190514 |
| 2023-01-10 | 授权 | 授权 |