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基板输送装置和基板输送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110035364.X
申请日：
2011-01-31
公开(公告)号：
CN102163571A
公开(公告)日：
2011-08-24
发明(设计)人：
道木裕一
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-08-24 | 公开 | 公开 |
| 2012-09-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101325109712 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:201110035364X 申请日:20110131 |
| 2015-05-13 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101715220079 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:201110035364X 申请公布日:20110824 |