基板输送装置和基板输送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710183530.8

申请日：

2017-03-24

公开(公告)号：

CN107230656A

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

坂元直人牧准之辅梶原英树森弘明石丸和俊绪方正彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-15	授权	授权
2017-10-03	公开	公开
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20170324

共 50 条

[1]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

垰田勇 ;

兒玉俊昭 .

中国专利 :CN115346903A ,2022-11-15

[2]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

垰田勇 ;

兒玉俊昭 .

日本专利 :CN115346903B ,2025-08-19

[3]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

辻桥辰彦 ;

榎木田卓 ;

松下和辉 .

中国专利 :CN115621176A ,2023-01-17

[4]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

荻本真一 .

中国专利 :CN1298515C ,2004-12-29

[5]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

武者和博 ;

南展史 ;

铃木杰之 .

中国专利 :CN112670229B ,2021-04-16

[6]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

林徳太郎 .

中国专利 :CN110729215A ,2020-01-24

[7]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

道木裕一 .

中国专利 :CN102163571A ,2011-08-24

[8]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

标克彦 ;

矶明典 ;

高原龙平 .

中国专利 :CN105416972B ,2016-03-23

[9]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

森川胜洋 ;

松岛祐大 .

中国专利 :CN107492516A ,2017-12-19

[10]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

武者和博 ;

南展史 ;

铃木杰之 .

中国专利 :CN112589807A ,2021-04-02

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