共 50 条
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基板输送装置和基板输送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN01823765.7
申请日：
2001-11-01
公开(公告)号：
CN1298515C
公开(公告)日：
2004-12-29
发明(设计)人：
荻本真一
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县横浜市
IPC主分类号：
B25J1506
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
胡强;杨松龄
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-19 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):B25J 15/06 申请日:20011101 授权公告日:20070207 |
| 2005-03-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2004-12-29 | 公开 | 公开 |
| 2007-02-07 | 授权 | 授权 |