平面铌靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811618660.0

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN109706427A

公开(公告)日：

2019-05-03

发明(设计)人：

李兆博马小文汪凯杜领会宿康宁李小平李积贤黄浩杨烈杜欣

申请人：

申请人地址：

753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F118

代理机构：

广州市一新专利商标事务所有限公司 44220

代理人：

张芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	公开	公开
2022-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20181228

共 50 条

[1]

一种平面铌靶材的制备方法 [P].

李桂鹏 ;

汪凯 ;

张春恒 ;

同磊 .

中国专利 :CN104593708A ,2015-05-06

[2]

氧化铌靶材及其制备方法 [P].

王志坚 ;

黄培 ;

贾帅广 ;

黄美松 ;

刘华 ;

樊玉川 .

中国专利 :CN106747439A ,2017-05-31

[3]

一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法 [P].

文宏福 ;

李培林 .

中国专利 :CN111534800A ,2020-08-14

[4]

一种铌靶材的制备方法 [P].

汪凯 ;

李桂鹏 ;

张国军 ;

张春恒 ;

李兆博 ;

同磊 ;

郭从喜 ;

孙伟 .

中国专利 :CN103757596A ,2014-04-30

[5]

一种制备铌靶材的方法 [P].

汪凯 ;

李桂鹏 ;

刘守田 ;

张国军 ;

张春恒 ;

同磊 ;

李兆博 ;

孙伟 .

中国专利 :CN103757592A ,2014-04-30

[6]

一种铌靶材及其制备方法 [P].

李桂鹏 ;

王莉 ;

汪凯 ;

同磊 ;

张春恒 ;

张国军 ;

李兆博 ;

郭从喜 ;

任晓 ;

许宁 .

中国专利 :CN103009000B ,2013-04-03

[7]

一种铌靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115125461A ,2022-09-30

[8]

一种磁控溅射用管状铌靶材的制备方法 [P].

杜永成 ;

王歆锐 ;

樊雅丽 .

中国专利 :CN102794617A ,2012-11-28

[9]

一种钼铌靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

郭红波 ;

李伟 ;

王林生 ;

吴庆勇 .

中国专利 :CN117737667A ,2024-03-22

[10]

一种旋转铌靶材及其制备方法 [P].

罗永春 ;

胥小勇 ;

石煜 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

雷雨 ;

江涛 .

中国专利 :CN107130216A ,2017-09-05

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