一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010363526.1

申请日：

2020-04-30

公开(公告)号：

CN111534800A

公开(公告)日：

2020-08-14

发明(设计)人：

文宏福李培林

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F500 B22F302 B22F310 B22F315 B22F317

代理机构：

北京天盾知识产权代理有限公司 11421

代理人：

李少欢

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/34 变更事项:申请人变更前:东莞市欧莱溅射靶材有限公司变更后:东莞市欧莱溅射靶材有限公司变更事项:地址变更前:523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号变更后:523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号变更事项:申请人变更前:韶关市欧莱高新材料有限公司变更后:广东欧莱高新材料股份有限公司
2020-08-14	公开	公开
2021-02-26	授权	授权
2020-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200430

共 50 条

[1]

一种大尺寸钼铌靶坯的轧制方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

李建 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115430710A ,2022-12-06

[2]

一种大尺寸高纯铜平面靶材的制备方法 [P].

高建杰 ;

崔冬乐 ;

孔雪 ;

孙虎民 .

中国专利 :CN105887028A ,2016-08-24

[3]

一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104973864A ,2015-10-14

[4]

平面铌靶材的制备方法 [P].

李兆博 ;

马小文 ;

汪凯 ;

杜领会 ;

宿康宁 ;

李小平 ;

李积贤 ;

黄浩 ;

杨烈 ;

杜欣 .

中国专利 :CN109706427A ,2019-05-03

[5]

一种一体型大尺寸平面靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN113106402A ,2021-07-13

[6]

一种高均质钼铌合金靶材的制备方法 [P].

吴战芳 ;

唐培新 ;

吕周晋 ;

刘桂荣 ;

李向阳 .

中国专利 :CN118848002A ,2024-10-29

[7]

一种大规格钼铌合金靶材的轧制制备方法 [P].

杨景红 ;

耿宏安 ;

张军海 .

中国专利 :CN113637945A ,2021-11-12

[8]

一种钼铌靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

郭红波 ;

李伟 ;

王林生 ;

吴庆勇 .

中国专利 :CN117737667A ,2024-03-22

[9]

一种钼平面靶材的制造方法 [P].

王铁军 ;

穆健刚 ;

张凤戈 ;

李建奎 ;

姚伟 ;

梁俊才 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN105478772A ,2016-04-13

[10]

一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115502403A ,2022-12-23

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