一种晶圆背面磨床的抓取机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022640517.0

申请日：

2020-11-16

公开(公告)号：

CN213917719U

公开(公告)日：

2021-08-10

发明(设计)人：

朱勤超沈鑫佳陶施家韩鸣明吴丰杰

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼

IPC主分类号：

B24B4100

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253

代理人：

金亚丁

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B24B 41/00 登记号:Y2021330002258 登记生效日:20211126 出质人:天通日进精密技术有限公司质权人:杭州联合农村商业银行股份有限公司海宁支行实用新型名称:一种晶圆背面磨床的抓取机械手申请日:20201116 授权公告日:20210810
2021-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种玻璃晶圆抓取机械手 [P].

陈跃华 ;

王建国 ;

卜志超 ;

余本成 ;

陈时兴 .

中国专利 :CN221716909U ,2024-09-17

[2]

一种晶圆抓取机械手及抓取设备 [P].

贾侦华 ;

张奇 ;

伊文君 ;

徐杰 .

中国专利 :CN222883517U ,2025-05-16

[3]

一种晶圆抓取机械手 [P].

罗永胜 .

中国专利 :CN111834283A ,2020-10-27

[4]

一种晶圆抓取机械手 [P].

罗永胜 .

中国专利 :CN111834283B ,2024-05-03

[5]

一种防掉落的晶圆抓取机械手 [P].

傅丁丁 .

中国专利 :CN217372391U ,2022-09-06

[6]

晶圆盒抓取专用机械手 [P].

高翔鹰 ;

张少阳 ;

裴文龙 ;

陈晨 .

中国专利 :CN210349803U ,2020-04-17

[7]

一种悬臂抓取机械手 [P].

胡维前 ;

梁伟 ;

唐汉 ;

刘世秀 .

中国专利 :CN222328212U ,2025-01-10

[8]

一种晶圆背面磨床的搬运手 [P].

吴张琪 ;

陶施家 ;

沈鑫佳 ;

吴酉 ;

徐海刚 .

中国专利 :CN213917720U ,2021-08-10

[9]

用于抓取晶圆的机械手 [P].

胡文祥 .

中国专利 :CN101992466A ,2011-03-30

[10]

一种无篮晶圆抓取机械手 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

李文亭 .

中国专利 :CN212676236U ,2021-03-09

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