一种晶圆背面磨床的搬运手

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022647920.6
申请日
2020-11-16
公开(公告)号
CN213917720U
公开(公告)日
2021-08-10
发明(设计)人
吴张琪 陶施家 沈鑫佳 吴酉 徐海刚
申请人
申请人地址
314400 浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼
IPC主分类号
B24B4100
IPC分类号
H01L21677
代理机构
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253
代理人
金亚丁
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆背面磨床的抓取机械手 [P]. 
朱勤超 ;
沈鑫佳 ;
陶施家 ;
韩鸣明 ;
吴丰杰 .
中国专利 :CN213917719U ,2021-08-10
[2]
一种晶圆背面磨床的物料定位装置 [P]. 
张王锋 ;
吴丰杰 ;
张佳斌 ;
王涛 ;
赵文豪 .
中国专利 :CN213917721U ,2021-08-10
[3]
一种晶圆背面磨床的清洗组件 [P]. 
俞佳文 ;
翟潇杰 ;
赵文豪 ;
王佳鑫 ;
张佳斌 .
中国专利 :CN213915114U ,2021-08-10
[4]
一种晶圆背面磨床的磨削吸盘 [P]. 
陆吴强 ;
王佳鑫 ;
王涛 ;
徐海刚 ;
贾泓超 .
中国专利 :CN213917735U ,2021-08-10
[5]
一种晶圆背面磨床的物料固定装置 [P]. 
梁文 ;
韩鸣明 ;
康维东 ;
佟耀力 ;
赵斌 .
中国专利 :CN213917734U ,2021-08-10
[6]
一种晶圆搬运机构 [P]. 
任红州 ;
张宇 ;
宋和健 .
中国专利 :CN222483349U ,2025-02-14
[7]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
杨仕品 .
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[8]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
李玉慧 ;
张正中 ;
滕文聪 ;
赵越 .
中国专利 :CN223273263U ,2025-08-26
[9]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
张松林 .
中国专利 :CN220783915U ,2024-04-16
[10]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
尹诚诚 ;
周卫国 ;
刘冬梅 ;
王强 ;
董纯洁 .
中国专利 :CN210551302U ,2020-05-19