一种晶圆背面磨床的清洗组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022638031.3

申请日：

2020-11-16

公开(公告)号：

CN213915114U

公开(公告)日：

2021-08-10

发明(设计)人：

俞佳文翟潇杰赵文豪王佳鑫张佳斌

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253

代理人：

金亚丁

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 登记号:Y2021330002258 登记生效日:20211126 出质人:天通日进精密技术有限公司质权人:杭州联合农村商业银行股份有限公司海宁支行实用新型名称:一种晶圆背面磨床的清洗组件申请日:20201116 授权公告日:20210810
2021-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆背面磨床的搬运手 [P].

吴张琪 ;

陶施家 ;

沈鑫佳 ;

吴酉 ;

徐海刚 .

中国专利 :CN213917720U ,2021-08-10

[2]

一种晶圆背面磨床的磨削吸盘 [P].

陆吴强 ;

王佳鑫 ;

王涛 ;

徐海刚 ;

贾泓超 .

中国专利 :CN213917735U ,2021-08-10

[3]

晶圆背面清洗装置 [P].

许忠晖 ;

王东铭 ;

陈嘉勇 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN214099590U ,2021-08-31

[4]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203967038U ,2014-11-26

[5]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203721680U ,2014-07-16

[6]

晶圆背面清洗装置 [P].

郝静安 ;

舒强 ;

邢滨 .

中国专利 :CN203774251U ,2014-08-13

[7]

晶圆背面清洗装置 [P].

王磊 .

中国专利 :CN202224393U ,2012-05-23

[8]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

张飘 ;

范小军 ;

张峰 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN222999217U ,2025-06-20

[9]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

李林 ;

吴宣 .

中国专利 :CN218471901U ,2023-02-10

[10]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

周贤炳 .

中国专利 :CN223390531U ,2025-09-26

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