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电子束的束流引导装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN03265294.1
申请日：
2003-06-10
公开(公告)号：
CN2641816Y
公开(公告)日：
2004-09-15
发明(设计)人：
唐传祥
孙志超
申请人：
申请人地址：
100083北京清华同方科技广场A座2907
IPC主分类号：
H01J37147
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止未缴年费专利权终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-08-09 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |
| 2007-12-26 | 其他有关事项避免重复授权放弃专利权 | 其他有关事项避免重复授权放弃专利权 放弃生效日:20061025 |
| 2004-09-15 | 授权 | 授权 |